日前，以色列計(jì)量/檢測(cè)設(shè)備公司Nova宣布了其先進(jìn)的全方位門 計(jì)量產(chǎn)品組合為增強(qiáng)其市場(chǎng)領(lǐng)先的產(chǎn)品組合，公司正在推出多種先進(jìn)的解決方案，這些解決方案具有獨(dú)特的能力，可應(yīng)對(duì)下一代邏輯器件的制造挑戰(zhàn)

Nova總裁兼首席執(zhí)行官 Eitan Oppenhaim表示，Nova豐富且差異化的產(chǎn)品組合旨在應(yīng)對(duì)下一代設(shè)備制造的挑戰(zhàn)除了具有挑戰(zhàn)性的設(shè)計(jì)之外，材料檢測(cè)正成為設(shè)備發(fā)展越來越重要的關(guān)鍵，我們?cè)谶@一領(lǐng)域的加大投資為我們的客戶提供了獨(dú)特的互補(bǔ)價(jià)值我們市場(chǎng)領(lǐng)先的尺寸計(jì)量，突破性的材料計(jì)量組合以及最近增加的化學(xué)計(jì)量之間的協(xié)同作用進(jìn)一步增強(qiáng)了這一點(diǎn)

根據(jù)公告，Nova 的補(bǔ)充產(chǎn)品使客戶能夠通過對(duì)幾何尺寸，物理材料特性和化學(xué)分析的更廣泛了解，更好地了解最復(fù)雜的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)整體解決方案已推向市場(chǎng)，并被主要客戶用于穩(wěn)定 GAA 工藝步驟并提高產(chǎn)量

Nova 豐富的下一代產(chǎn)品組合包括:

Nova PRISM通過平臺(tái)的光譜干涉 技術(shù)在關(guān)鍵應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)卓越的計(jì)量性能事實(shí)證明，SI 技術(shù)通過提供提高對(duì)弱目標(biāo)參數(shù)的靈敏度的絕對(duì)相位信息，增加了當(dāng)前傳統(tǒng)光學(xué) CD 方法無法獲得的全新光譜信息維度，特別是新 GAA 設(shè)計(jì)規(guī)則中引入的復(fù)雜性所要求的

Nova i570是 Nova 用于大批量制造的頂級(jí)性能集成計(jì)量平臺(tái)，鞏固了 Nova 在該領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)地位該平臺(tái)提高了小型結(jié)構(gòu)和多層的整體在線測(cè)量能力

Nova METRION 將 SIMS 技術(shù)帶入大批量制造，在納米片制造中材料沉積的關(guān)鍵步驟中，以前僅限于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的材料成分的深度剖面制造商必須嚴(yán)格控制材料在單個(gè)納米片上的濃度和均勻沉積

Nova ELIPSON 采用先進(jìn)的拉曼光譜技術(shù)進(jìn)行光學(xué)材料計(jì)量 ，以快速，無損的方式提取芯片內(nèi)結(jié)構(gòu)的材料特性ELIPSON 為下一代生產(chǎn)挑戰(zhàn)提供多種解決方案，包括整個(gè)過程中的應(yīng)變形成和缺陷測(cè)量

Nova VERAFLEX IV是集成 X 射線熒光 的在線和芯片內(nèi) X 射線光電子能譜 的最新行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)VERAFLEX IV 通過生成業(yè)界最高的 X 射線通量和解決復(fù)雜結(jié)構(gòu)所需的專有光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)單層薄膜堆疊和摻雜劑濃度進(jìn)行直接測(cè)量控制

所有平臺(tái)均由 Nova 的機(jī)器學(xué)習(xí)軟件套件Nova FIT 2.0 統(tǒng)一，這是公司最新的機(jī)器學(xué)習(xí)解決方案，由先進(jìn)的算法和最先進(jìn)的計(jì)算層提供支持。

在雙目立體視覺系統(tǒng)的支持下，nova9系列擁有單反級(jí)別的人像模糊效果。通過兩個(gè)前置鏡頭的配合，華為nova9系列拍攝的人像照片色彩過渡柔和自然，不僅還原了人像的臉型，膚色等細(xì)節(jié)，還清晰地捕捉到了頭發(fā)；同時(shí)，雙目立體視覺圖像引擎可以精確計(jì)算景深信息，呈現(xiàn)出專業(yè)級(jí)別的模糊效果。