，據(jù)媒體報道，本月3日，光刻機制造商阿斯麥位于德國柏林的一座工廠發(fā)生火災(zāi)，大火在當晚被撲滅，沒有人員在火災(zāi)中受傷，阿斯麥隨后也宣布將對火災(zāi)的影響進行評估，并對外公布相關(guān)的消息。

火災(zāi)影響的損壞評估仍在進行中，但阿斯麥方面表示，從目前的情況來看，他們計量和檢測產(chǎn)品的產(chǎn)出計劃將不會受到影響，因為沒有相關(guān)的部件在柏林工廠生產(chǎn)。

雖然火災(zāi)未影響到計量和檢測產(chǎn)品部件的生產(chǎn)，但阿斯麥位于柏林的工廠，生產(chǎn)DUV和EUV光刻機的部分部件，這兩類光刻機部分部件的生產(chǎn)，在火災(zāi)中都受到了影響。因此，世界各地生產(chǎn)先進工藝的芯片代工企業(yè)都在試圖引進EUV設(shè)備，這使得EUV的供應(yīng)非常緊張。

柏林工廠受火災(zāi)影響仍未恢復的，是EUV光刻機一個零部件的生產(chǎn)區(qū)域，恢復計劃仍在進行中，他們已決定采取相關(guān)的措施，將對EUV光刻機客戶，產(chǎn)出計劃及服務(wù)的潛在影響降到最低。如果有需求，可以通過增加供給來平衡。。